潔(jie)凈室（cleanroom）這個名詞和概念源于18世紀六十年代的歐洲醫學，當時的理解僅限于經噴灑消毒后可以控制創部感染率的處置室、手術室這類滅菌處理的工作環境。現代潔凈室雖然延用了這個名詞，但在定義和內涵上都與原有的概念有根本的不同，現代潔凈室形成一項專門技術，其歷史不過只有半個世紀。隨著科技的發展潔凈技術（cleanroom）是適(shi)應實驗研究與產品(pin)加工的(de)(de)精密化、微型化、高純度、高質量和高可靠性等方(fang)面(mian)(mian)要(yao)求而(er)誕生的(de)(de)一門(men)新興技術(shu)。 本文主要(yao)從潔凈室的(de)(de)等級標準、領域劃分、等級要(yao)求幾個方(fang)面(mian)(mian)講述粒子計數器在潔凈室的(de)(de)檢(jian)測作用。
潔凈室等級標準
潔(jie)凈(jing)室等級標(biao)準和國際標(biao)準ISO 14644一樣,都是(shi)根(gen)據(ju)(ju)懸浮(fu)粒子濃度這(zhe)個指標來劃分(fen)(fen)潔凈室（區）及(ji)相關(guan)受(shou)控環境中空氣潔凈度的(de)(de)等級，并且僅考慮粒徑限(xian)值（低(di)限(xian)）在0.1um～5.0um 范(fan)圍內呈累積分(fen)(fen)布的(de)(de)粒子群。根(gen)據(ju)(ju)粒子徑，可以劃分(fen)(fen)為常(chang)規粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
潔(jie)(jie)凈(jing)室及潔(jie)(jie)凈(jing)區(qu)空氣中(zhong)懸(xuan)浮(fu)粒子潔(jie)(jie)凈(jing)度(du)等級
ISO14644-1：2015規(gui)定的潔(jie)凈度等級以及傳統分(fen)級
| ISO等級序數（N） | 大于等于表中被考慮粒徑的粒子最大允許濃度（個/立方米） | |||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
| 1 | 10b | d | d | d | d | e |
| 2 | 100 | 24b | 10b | d | d | e |
| 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35b | d | e |
| 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83b | e |
| 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | d,e,f |
| 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| 7 | c | c | c | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
| 8 | c | c | c | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
| 9g | c | c | c | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
潔凈室的領域劃分(fen)
潔凈(jing)室的劃(hua)分(fen)是以(yi)單位(wei)體積內(nei)所含(han)灰塵(chen)數(shu)來計算的，數(shu)目越小表示潔凈(jing)等級(ji)越高，一般(ban)每一級(ji)的劃(hua)分(fen)都有不同直徑灰塵(chen)數(shu)的要求，比如一般(ban)藥廠、汽(qi)車(che)4s店，十萬級或萬級就夠了，但這對電子行業（尤其是微電子行業）僅僅是要求，比如半導體行業等級要求的(de)測試間一(yi)般都不能高(gao)于1萬級。下面我們通過工業無(wu)塵室詳細了解一(yi)下。
依據美(mei)國(guo)聯邦政府頒布的標準，可將(jiang)無塵(chen)室分為(wei)六級(ji)。分別是1級、10級(ji)(ji)(ji)(ji)、100級(ji)(ji)(ji)(ji)、1000級(ji)(ji)(ji)(ji)、10000級(ji)(ji)(ji)(ji)、100000級(ji)(ji)(ji)(ji)，如果無(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)室(shi)(shi)的(de)(de)(de)(de)等(deng)(deng)級(ji)(ji)(ji)(ji)只用(yong)塵(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)粒(li)數目來敘(xu)述(shu)，則可(ke)假設塵(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)粒(li)的(de)(de)(de)(de)尺寸為0.5µm，例如，1級(ji)(ji)(ji)(ji)、10級(ji)(ji)(ji)(ji)、100級(ji)(ji)(ji)(ji)無(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)室(shi)(shi)最(zui)(zui)大(da)塵(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)粒(li)數目分(fen)別(bie)小于或等(deng)(deng)于1顆、10顆、100顆。并且(qie)通(tong)過FS209E標準劃分(fen)，每立方英尺里面(mian)允許含有最(zui)(zui)多的(de)(de)(de)(de)0.5微米塵(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)埃(ai)粒(li)子(zi)(zi)的(de)(de)(de)(de)數量(liang)就是潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)室(shi)(shi)的(de)(de)(de)(de)等(deng)(deng)級(ji)(ji)(ji)(ji)，比如每立方英尺允許含有最(zui)(zui)多1000個0.5微米的(de)(de)(de)(de)例子(zi)(zi)，那么這個潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)室(shi)(shi)就是千(qian)級(ji)(ji)(ji)(ji)，如果是10000個粒(li)子(zi)(zi)就是萬(wan)級(ji)(ji)(ji)(ji)，總共是從一級(ji)(ji)(ji)(ji)，十級(ji)(ji)(ji)(ji)，百級(ji)(ji)(ji)(ji)，千(qian)級(ji)(ji)(ji)(ji)，萬(wan)級(ji)(ji)(ji)(ji)到(dao)百萬(wan)級(ji)(ji)(ji)(ji)；工(gong)(gong)(gong)(gong)業無(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)室(shi)(shi)主要控制無(wu)(wu)(wu)生(sheng)命微粒(li)對(dui)(dui)工(gong)(gong)(gong)(gong)作(zuo)(zuo)對(dui)(dui)象的(de)(de)(de)(de)污染，其內部一般保(bao)持正壓，它適(shi)用(yong)于精密(mi)工(gong)(gong)(gong)(gong)業、電子(zi)(zi)工(gong)(gong)(gong)(gong)業、航天工(gong)(gong)(gong)(gong)業、化學工(gong)(gong)(gong)(gong)業、印(yin)刷(shua)工(gong)(gong)(gong)(gong)業等(deng)(deng)部門(men)。工(gong)(gong)(gong)(gong)業無(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)車(che)間只要控制參(can)數是溫度(du)(du)、濕度(du)(du)、風(feng)速、流場、潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)度(du)(du)。因此為了滿足凈(jing)(jing)(jing)(jing)化車(che)間內的(de)(de)(de)(de)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)度(du)(du)及熱濕平(ping)(ping)衡，需(xu)要較大(da)的(de)(de)(de)(de)送(song)風(feng)量(liang)，300平(ping)(ping)方米的(de)(de)(de)(de)車(che)間，高度(du)(du)為2.5米，如果是萬(wan)級(ji)(ji)(ji)(ji)，就需(xu)要300×2.5×30=22500m3/h的(de)(de)(de)(de)送(song)風(feng)量(liang)（換氣(qi)次數是≥25次/h）；如果是十萬(wan)級(ji)(ji)(ji)(ji)，送(song)風(feng)量(liang)就需(xu)要300×2.5×20=15000m3/h（換氣(qi)次數是≥15次/h）。此外為保(bao)持無(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)室(shi)(shi)的(de)(de)(de)(de)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)度(du)(du)，進(jin)出(chu)的(de)(de)(de)(de)人員(yuan)有一定(ding)的(de)(de)(de)(de)穿著(zhu)規定(ding)；10000與100000級(ji)(ji)(ji)(ji)，必須穿著(zhu)長袍無(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)衣、無(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)鞋、帶(dai)帽子(zi)(zi)與面(mian)罩；1000級(ji)(ji)(ji)(ji)(含)以上，需(xu)穿著(zhu)特殊(shu)的(de)(de)(de)(de)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)連身衣、無(wu)(wu)(wu)塵(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)鞋將(jiang)(jiang)全身裹住，并帶(dai)上手套和(he)面(mian)罩。所以每間潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)室(shi)(shi)都(dou)配有高效空氣(qi)顆粒(li)物(wu)(wu)(wu) （HEPA） 過濾器，防(fang)止空氣(qi)傳(chuan)(chuan)播(bo)生(sheng)物(wu)(wu)(wu)與病(bing)毒生(sheng)物(wu)(wu)(wu)的(de)(de)(de)(de)傳(chuan)(chuan)播(bo)。過濾器還采用(yong)了正壓設計，將(jiang)(jiang)未過濾的(de)(de)(de)(de)空氣(qi)隔離在房間外部，同時(shi)風(feng)淋室(shi)(shi)可(ke)在工(gong)(gong)(gong)(gong)作(zuo)(zuo)人員(yuan)與產品進(jin)入房間前去除沾染的(de)(de)(de)(de)顆粒(li)物(wu)(wu)(wu)。潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)室(shi)(shi)的(de)(de)(de)(de)審(shen)核維(wei)護流程包括(kuo)對(dui)(dui)微生(sheng)物(wu)(wu)(wu)的(de)(de)(de)(de)計數，確保(bao)符(fu)合潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)(jing)度(du)(du)和(he)生(sheng)物(wu)(wu)(wu)負載水平(ping)(ping)的(de)(de)(de)(de)要求。
